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1. 原水监控

监控项目包括：电导率、流量、压力和温度。

原水处的监控单元将原水的电导、流量、压力和温度数据进行采集、记录，有利于超纯水机判断原水水质是否符合机器正常运行条件，记录原水水质的变化状况及对超纯水机产水质量的影响。

2. 预纯化水监控

监控项目包括：三级水电导率和温度。

反渗透产水处的监控单元将三级水的电导和温度数据进行采集、记录，有利于使用者清楚直观的看到所使用的三级水的水质状况。超纯水机根据记录的数据判断反渗透膜的使用状态，提醒使用者做定期更换。

3. 超纯水监控

监控项目包括：超纯水电阻率和温度。

纯化柱出水处的监控单元将超纯水的电阻和温度数据进行采集、记录，有利于使用者清楚直观的看到所使用的超纯水的水质状况。超纯水机根据记录的数据判断纯化柱的使用状态，提醒使用者做定期更换。

4. 三级水流量监控

监控项目包括：取水时出水口出水流量、定量取水时水量监测。

三级水取水点处的监控单元将三级水的出水流量和取水量进行采集、记录，有利于使用者了解三级水的使用量，为需要独立计价的用户提供有效的使用水量数据。对出水流量的监控，有利于判断取水点过滤器是否堵塞，是否需要更换。

5. 超纯水流量监控

监控项目包括：取水时出水口出水流量、定量取水时水量监测。

超纯水取水点处的监控单元将超纯水的出水流量和取水量进行采集、记录，有利于使用者了解超纯水的使用量，为需要独立计价的用户提供有效的使用水量数据。对出水流量的监控，有利于判断取水点过滤器是否堵塞，是否需要更换。超纯水机根据记录的数据判断纯化柱的使用状态，提醒使用者做定期更换。